尺寸圖：
產品類型 | LMP-S-250 |
Travel 行程 | 250mm |
Accuracy 定位精度 | ±2.5μm |
Bi-Repeatability 雙向重復定位精度 | ±0.2μm |
Straightness 直線度 | ±1.5μm |
Flatness 平面度 | ±3μm |
Load capacity負載 | 1000N |
Jitter at stay position位置抖動 | 50nm |
Maximum speed最大速度 | 1m/s |
Maximum Acceleration最大加速度 | 2g |
Platform material 平臺材質 | 大理石 |
u 產品特性：
? 堅固的機械結構；
? 非接觸直接驅動系統(tǒng)，可實現(xiàn)高動態(tài)響應和高可靠性
? 用于超精密運動的直接驅動直線電機，無鐵芯電機提供高推力，零齒槽效應，可實現(xiàn)超平滑的速度和位置控制；
? 行程從100mm到2000mm 不等，可根據(jù)實際需求定制；
? 增量式和絕對式編碼器作為標準選項提供，可實現(xiàn)低至5nm 的最小增量運動和亞微米級的可重復性；
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