??線軌運動臺是由直線電機驅(qū)動，光柵尺反饋和直線導(dǎo)軌導(dǎo)向組成的，其中滾輪直線導(dǎo)軌，圓柱直線導(dǎo)軌，滾珠直線導(dǎo)軌都屬于直線導(dǎo)軌，又稱線軌、滑軌、線性導(dǎo)軌及線性滑軌，每個人的叫法不同。線軌主要是用來支撐運動部件的，在使用的過程中起到導(dǎo)向的作用，也可以按照所指定的方向來不斷的做直線運動。??線軌運動臺采用無...
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?伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺，這是一種用于半導(dǎo)體加工、檢測、微納加工、測試測量等高精度設(shè)備，今天來了解一下超精密氣浮運動臺的特性。??1、直線度和平面度高??2、定位精度和重復(fù)定位高??3、速度穩(wěn)定性高??4、偏擺、俯仰、滾動精度高??...
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